Примером технологической схемы получения глубоко-обессоленной воды и ее рационального использования может быть система очистки воды фирмы "Эльга" (Elga Products Ltd.) для микроэлектронной промышленности [65].[Процесс очистки, стерилизации и контроля разделен на три этапа. I этап — предварительная очистка методом обратного осмоса. На этом этапе используются установки, которые производят предварительную очистку поступающей водопроводной воды от органических веществ и бактерий. II этап — деионизация в фильтрах смешанного действия. В этих фильтрах качество воды улучшается и ее удельное электрическое сопротивление возрастает до 10-15 МОм-см. Очистка происходит в автоматических ионообменных установках "Эльга". III этап — доводка в барабанах и рециркуляция. После прохождения второго этапа очистки вода подается на четыре локальных рециркуляционных узла доводки. В состав каждого такого узла входят следующие устройства: герметичный стерильный бак, рециркуляционный насос, комплект фильтров (0,65 мкм) и семь "барабанов" для окончательной очистки воды, содержащих 65 л смеси деионизи-рующих смол. При загрязнении смол узлы отсоединяются и вместо них устанавливаются "барабаны", прошедшие регенерацию.