В ряде случаев эти требования гораздо более жесткие, чем требования к хозяйственно-питьевой воде. Так, например, для электронной промышленности требуется вода с высоким удельным электрическим сопротивлением (порядка 2-ЗМО), что может быть достигнуто путем многостадийной обработки исходной воды с помощью каскада специального оборудования. Аппараты "Милли-Рекью" фирмы "Милли-пор" (Мillipore) (США), предназначенные для получения такой воды, включают: фильтр предварительной очистки с тонкостью очистки 5 мкм; обратноосмотический фильтрующий элемент рулонного типа; угольный фильтр; ионообменный фильтр; финишный микрофильтр с порами 0,45 мкм.

Надежность. Оценка надежности водоочистного оборудования производится с помощью системы показателей (безотказность, долговечность, ремонтопригодность, сохраняемость и др.), характеризующих способность оборудования сохранять во времени значения установленных эксплуатационных характеристик в заданных пределах. Минимальная материалоемкость в изготовлении. Для изготовления водоочистного оборудования требуется металл, пластмасса, лакокрасочные, электроизоляционные, теплоизоляционные и другие материалы. Показатель "удельная материалоемкость" характеризует расход материала в данном виде оборудования на единицу его производительности.