Приборы контроля качества ССВ (стерильная сверхчистая вода) и системы мониторинга обеспечивают контроль за правильностью функционирования "барабанов" и за качеством воды на выходе каждого узла рециркуляции. В "барабанах" осуществляется доводка ССВ до заданных параметров (удельное сопротивление 18-20 МОм-см), после чего вода под давлением подается ко всем рабочим зонам, расположенным в чистых помещениях, где она подвергается дальнейшей фильтрации с помощью фильтров 0,2 мкм, после чего подается на каскадные промывочные ванны.

Основным принципом работы системы фирмы "Эльга" является постоянная циркуляция воды по замкнутому циклу, причем поток никогда не останавливается и не имеет резких перепадов скорости ни в трубопроводах, ни в резервуарах. Обратная подача воды к бара-банам-рециркуляторам осуществляется с помощью сети гравитационных трубопроводов. В них деминерализованная вода вновь доводится до требуемых параметров.

Система рассчитана таким образом, что при потреблении 20 м3/ч, необходимом для выполнения технологических процессов производства, центральная очистная установка (I и II этапы) может иметь производительность лишь 10 м3/ч, поскольку каждый рециркулятор (III этап) позволяет повторно использовать до 70 % поданной ССВ. Потери воды в такой системе не превышают 3 м3/ч.